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CVD反应炉的种类

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CVD反应炉的种类

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发布时间:
2019/11/11 16:10
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CVD反应炉的种类有以下几种:

1,热丝 Hot Filament

2,直流电弧喷射 DC Arc Jet

3微波等离子 Microwave Plasma

 

     前二种适合生长多晶薄膜。微波分为2.45GHz0.915GHz两种频率, 后者可以做到数十到百KW的功率,其托盘直径可达4-6英寸,较前者的生产效率(6KW2英寸)高很多,大型设备是未来CVD炉的趋势。

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